nps電半導(dǎo)體/LCD前工序檢查用電阻率測(cè)量裝置介紹
適合專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員的高性能工具。
這是一款手動(dòng)型測(cè)量?jī)x器，采用四探針?lè)?，可輕松準(zhǔn)確地測(cè)量太陽(yáng)能電池用硅片、液晶基板、金屬薄膜等的方塊電阻或體積電阻。它支持從低電阻到高電阻的各種測(cè)量。
<應(yīng)用>
1) 用于硅錠制造→晶圓制造工序（成膜等各工序）的產(chǎn)品檢查
2) 液晶面板（LCD基板）制造：成膜時(shí)的產(chǎn)品檢查
3) 用于各種導(dǎo)電材料制造過(guò)程中的產(chǎn)品檢驗(yàn)
可以使用本公司另外配置的“4點(diǎn)探頭"進(jìn)行測(cè)量。
[相關(guān)產(chǎn)品] 4點(diǎn)探頭
■ 型號(hào) sigma-5+
它可以精確測(cè)量硅片等的電阻率，還有用于太陽(yáng)能電池的硅的便攜式探頭。
這是一款高精度電阻率測(cè)量?jī)x器，采用20多年電阻率測(cè)量相關(guān)的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和技術(shù)設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)。
可以在半導(dǎo)體基板和導(dǎo)電薄膜基板的研發(fā)/檢查過(guò)程或生產(chǎn)線(xiàn)中高精度地確定和評(píng)估薄層電阻值和體積電阻值。
*照片為與樣品臺(tái)RG-5的組合。
[特征]
?帶有開(kāi)關(guān)功能的智能面板，可進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置
?緊湊的桌面尺寸設(shè)計(jì)
?從低電阻到高電阻的寬測(cè)量范圍
?電流極性切換測(cè)量可抑制因整流而產(chǎn)生的誤差
?每次測(cè)量開(kāi)始時(shí)自動(dòng)調(diào)零功能
?自動(dòng)設(shè)定最佳電流的自動(dòng)量程功能
?試樣厚度修正功能
?測(cè)量值平均值顯示和打印機(jī)平均值計(jì)算功能
?半導(dǎo)體溫度校正功能
?各種溫度修正系數(shù)輸入功能
?帶數(shù)據(jù)打印機(jī)接口
?具有數(shù)據(jù)連接接口
?可選擇樣品表
手持式 ?電阻率測(cè)量?jī)x 型號(hào)PV-628
PV-628 型是一款便攜式 4 點(diǎn)探針測(cè)量?jī)x器，專(zhuān)門(mén)用于測(cè)量太陽(yáng)能發(fā)電用硅的電阻率。由于它采用電池作為電源，因此便于攜帶，而且不受被測(cè)物體形狀或尺寸的限制，便于測(cè)量。
