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日本東麗toray半導體制造設備用氧氣溶度計

日本東麗toray半導體制造設備用氧氣溶度計

產(chǎn)品型號: LC-450D

所屬分類:氧氣

產(chǎn)品時間:2024-09-06

簡要描述:日本東麗toray半導體制造設備用氧氣溶度計LC-450D
在較寬的濃度范圍內(nèi)進行測量從ppm水平可以顯示100%的較寬濃度顯示。
改進的傳感器耐用性氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理,以提高其耐用性。
交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
* LC-450D由24V DC驅(qū)動
緊湊且易于安裝深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短,并且不會占用太多空間。
符合RoHS的產(chǎn)品
CE標志自我聲明產(chǎn)品

詳細說明:

日本東麗toray半導體制造設備用氧氣溶度計LC-450D

 

LC-450D設備規(guī)格

測量原理氧化鋯濃縮池類型
形狀桌面/面板安裝類型
顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm自動量程
重復性在±1%FS 0-1ppm以內(nèi),atm范圍超出濃度保證范圍
取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
樣氣條件壓力加壓小于30KPa
流量?1,500升/分鐘
濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-50°攝氏度
其他請勿包含腐蝕性氣體(氟氣,氯氣,硫化物氣等),含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣大氣層
記錄儀
輸出
氧氣濃度輸出0-10VDC,絕緣,負載電阻600kΩ或更高
(選件:4-20mADC,絕緣,負載電阻550Ω或更低)
記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
輸出范圍0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍
變速箱輸出RS-232C
報警輸出失?。ㄔO備錯誤)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或更小,0.5A或更小
由于設備錯誤導致的觸點閉合(觸點操作可更改)
ALM(濃度警報)2點(L / LL)非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
發(fā)生警報時的接點閉合(可以更改接點操作)
RDY(預熱信號)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下在
預熱期間,接點閉合(可以更改接點操作)
  • 無電壓觸點的小開關容量為12 V或20 mA或更高,并且無法承受微小的負載。
MRK(范圍標記)輸出2分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
熱身時間5分鐘以內(nèi)
尺寸身體240(W)×134(H)×210(D)mm(不包括突起)
大眾約5kg
氣體
連接口
進口Rc1 / 8
旁路輸出Rc1 / 8
出口Rc1 / 8
使用電源24VDC±10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài))

日本東麗toray半導體制造設備用氧氣溶度計LC-450D 



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