日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)： SC-701HMCⅡ

所屬分類：涂布機(jī)

產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-09

簡(jiǎn)要描述：日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備。
使用磁控管陰極
內(nèi)置微型計(jì)算機(jī)對(duì)成膜過(guò)程進(jìn)行高精度控制

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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

特征

支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備。
使用磁控管陰極
內(nèi)置微型計(jì)算機(jī)對(duì)成膜過(guò)程進(jìn)行高精度控制
操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)兩種模式
標(biāo)配自動(dòng)快門(mén)機(jī)構(gòu)

應(yīng)用/結(jié)果示例

W / Ni / Cr / Ti等的成膜
燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

基本規(guī)格

陰極	φ2英寸磁控管陰極
快門(mén)機(jī)制	自動(dòng)/手動(dòng)操作
氣體導(dǎo)入機(jī)制	針閥（自動(dòng)/手動(dòng)控制）
真空泵	直連式旋轉(zhuǎn)泵：100l / min（有自動(dòng)泄漏）
箱體尺寸	內(nèi)徑φ160mmx D160mm（SUS制）
樣品交換方法	前門(mén)開(kāi)合式
尺寸（寬/深/高）	機(jī)身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm
重量	身體：20公斤 RP：23公斤

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